北京北廣精儀儀器設(shè)備有限公司
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Quality is life, service is the tenet

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GB1409介電常數(shù)測(cè)試儀

發(fā)布時(shí)間:  2024-08-15

產(chǎn)品型號(hào):  GDAT-A

產(chǎn)品報(bào)價(jià):  

廠商性質(zhì):  生產(chǎn)廠家

所  在  地:  北京市海淀區(qū)上地科技園上地十街1號(hào)

產(chǎn)品特點(diǎn):  GB1409介電常數(shù)測(cè)試儀測(cè)量技術(shù)在民用,工業(yè)以及軍事等各個(gè)領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。本文主要對(duì)介電常數(shù)測(cè)量的常用方法進(jìn)行了綜合論述。首先對(duì)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行了對(duì)比總結(jié);然后分別論述了幾種常用測(cè)量方法的基本原理、適用范圍、
優(yōu)缺點(diǎn)及發(fā)展近況;后對(duì)幾種測(cè)量方法進(jìn)行了對(duì)比總結(jié),得出結(jié)論。

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GB1409介電常數(shù)測(cè)試儀參數(shù)

平板電容極片:Φ50mm/Φ38mm可選

間距可調(diào)范圍:≥15mm  

頻率范圍        20KHz-60MHz/200KHz-160MHz

頻率指示誤差:3×10-5±1個(gè)字

夾具插頭間距:25mm±0.01mm

主電容調(diào)節(jié)范圍:30-500/18-220pF

測(cè)微桿分辨率:0.001mm

主調(diào)電容誤差:<1%1pF

夾具損耗角正切值:≦4×10-4 1MHz)

Q測(cè)試范圍:21023

 

 

GB1409介電常數(shù)測(cè)試儀定義

介質(zhì)損耗角dielectric loss angle
由絕緣材料作為介質(zhì)的電容器上所施加的電壓與由此而產(chǎn)生的電流之間的相位差的余角。

介質(zhì)損耗因數(shù),,dielectric dissipation factor

tan8損耗角a的正切。

〔介質(zhì)〕損耗指數(shù)
E,該材料的損耗因數(shù)
tan8與相對(duì)電容率:r的乘積

復(fù)相對(duì)電容率complex relative permittivi

 

附表一,介質(zhì)損耗測(cè)試系統(tǒng)主要性能參數(shù)一覽表

BH916測(cè)試裝置

GDAT高頻Q

平板電容極片

Φ50mm/Φ38mm可選

頻率范圍

20KHz-60MHz/200KHz-160MHz

間距可調(diào)范圍

≥15mm

頻率指示誤差

3×10-5±1個(gè)字

夾具插頭間距

25mm±0.01mm

主電容調(diào)節(jié)范圍

30-500/18-220pF

測(cè)微桿分辨率

0.001mm

主調(diào)電容誤差

<1%1pF

夾具損耗角正切值

4×10-4 1MHz)

Q測(cè)試范圍

21023

介電常數(shù)測(cè)量技術(shù)在民用,工業(yè)以及軍事等各個(gè)領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。本文主要對(duì)介電常數(shù)測(cè)量的常用方法進(jìn)
行了綜合論述。首先對(duì)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行了對(duì)比總結(jié);然后分別論述了幾種常用測(cè)量方法的基本原理、適用范圍、
優(yōu)缺點(diǎn)及發(fā)展近況;后對(duì)幾種測(cè)量方法進(jìn)行了對(duì)比總結(jié),得出結(jié)論。

介電常數(shù)是物體的重要物理性質(zhì),對(duì)介電常數(shù)的研究有重要的理論和應(yīng)用意義。電氣工程中的電介質(zhì)問(wèn)題、電磁兼容問(wèn)題、生物醫(yī)學(xué)、微波、電子技術(shù)食品加工和地質(zhì)勘探中,無(wú)一不利用到物質(zhì)的電磁特性,對(duì)介電常數(shù)的測(cè)量提出了要求。目前對(duì)介電常數(shù)測(cè)量方法的應(yīng)用可以說(shuō)是遍及民用、工業(yè)、國(guó)防的各個(gè)領(lǐng)域

在食品加工行業(yè)當(dāng)中,儲(chǔ)藏、加工、滅菌、分級(jí)及質(zhì)檢等方面都廣泛采用了介電常數(shù)的測(cè)量技術(shù)。例如,通過(guò)測(cè)量介電常數(shù)的大小,新鮮果蔬品質(zhì)、含水率、發(fā)酵和干燥過(guò)程中的一些指標(biāo)都得到間接體現(xiàn),此外,根據(jù)食品的介電常數(shù)、含水率確定殺菌時(shí)間和功率密度等工藝參數(shù)也是重要的應(yīng)用之一[1]。在路基壓實(shí)質(zhì)量檢測(cè)和評(píng)價(jià)中,如果利用常規(guī)的方法,盡管測(cè)量結(jié)果比較準(zhǔn)確,但工作量大、周期長(zhǎng)、速度慢且對(duì)路面造成破壞。由于土體的含水量、溫度及密度都會(huì)對(duì)其介電特性產(chǎn)生不同程度的影響,因此可以采用雷達(dá)對(duì)整個(gè)區(qū)域進(jìn)行測(cè)試以反算出介電常數(shù)的數(shù)值,通過(guò)分析介電性得到路基的密度及壓實(shí)度等參數(shù),達(dá)到快速測(cè)量路基的密度及壓實(shí)度的目的[2]。此外,復(fù)介電常數(shù)測(cè)量技術(shù)還在水土污染的監(jiān)測(cè)中得到了應(yīng)用[3]。并且還可通過(guò)對(duì)巖石介電常數(shù)的測(cè)量對(duì)地震進(jìn)行預(yù)報(bào)[4]。上面說(shuō)的是介電常數(shù)測(cè)量在民用方面的部分應(yīng)用,其在工業(yè)上也有重要的應(yīng)用。典型的例子有低介電常數(shù)材料在超大規(guī)模集成電路工藝中的應(yīng)用以及高介電常數(shù)材料在半導(dǎo)體儲(chǔ)存器件中的應(yīng)用。在集成電路工藝中,隨著晶體管密度的不斷增加和線寬的不斷減小,互聯(lián)中電容和電阻的寄生效應(yīng)不斷增大,傳統(tǒng)的絕緣材料二氧化硅被低介電常數(shù)材料所代替是必然的。目前Applied Materials 的BlackDiamond 作為低介電常數(shù)材料,已經(jīng)應(yīng)用于集成電路的商業(yè)化生產(chǎn)[5]。在半導(dǎo)體儲(chǔ)存器件中,利用高介電常數(shù)材料能夠解決半導(dǎo)體器件尺寸縮小而導(dǎo)致的柵氧層厚度極限的問(wèn)題,同時(shí)具備特殊的物理特性,可以實(shí)現(xiàn)具有特殊性能的新器件[6]。在軍事方面,介電常數(shù)測(cè)量技術(shù)也廣泛應(yīng)用于雷達(dá)和各種特
殊材料的制造與檢測(cè)當(dāng)中。對(duì)介電常數(shù)測(cè)量技術(shù)的應(yīng)用可以說(shuō)是不勝枚舉。介電常數(shù)的測(cè)量技術(shù)已經(jīng)廣泛應(yīng)用于民用、工業(yè)和國(guó)防各個(gè)領(lǐng)域,并且有發(fā)展的空間和必要性。我們對(duì)測(cè)量介電常數(shù)的方法進(jìn)行總結(jié),能更清晰的認(rèn)識(shí)測(cè)量方法的現(xiàn)狀,為某些應(yīng)用提供一種可能適合的方法,是有一定理論和工程應(yīng)用意義的。

.介電常數(shù)測(cè)量方法綜述介電常數(shù)的測(cè)量按材質(zhì)分類(lèi)可以分為對(duì)固體、液體、氣體以及粉末(顆粒)的測(cè)量[7]。固體電介質(zhì)在測(cè)量時(shí)應(yīng)用較為廣泛,通??梢苑譃閷?duì)固定形狀大小的固體和對(duì)形狀不確定的固體的測(cè)量。相對(duì)于固體,液體和氣體的測(cè)試方法較少。對(duì)于液體,可以采用波導(dǎo)反射法測(cè)量其介電常數(shù),誤差在5%左右[8]。此外國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)中給出了在90℃、工頻條件下測(cè)量液體損耗角正切及介電常數(shù)的方法[9]。對(duì)于氣體,具體測(cè)試方法少且精度都不十分高。文獻(xiàn)[10]中給出一種測(cè)量方法,以測(cè)量共振頻率為基礎(chǔ),在LC 串聯(lián)諧振電路中產(chǎn)生震蕩,利用數(shù)字頻率計(jì)測(cè)量諧振頻率,不斷改變壓強(qiáng)和記錄當(dāng)前壓強(qiáng)下諧振頻率,后用作圖或者一元線性回歸法處理數(shù)據(jù),得到電容變化率進(jìn)而計(jì)算出相對(duì)介電常數(shù)。

表1 是測(cè)量固體介電常數(shù)的國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)方法(不包括廢止的方法)及其對(duì)頻率、介電常數(shù)范圍、材料等
情況的要求。如表1 所示,國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)中已經(jīng)對(duì)微擾法和開(kāi)式腔法的過(guò)程做了詳細(xì)介紹,然而對(duì)適用頻率和介電常數(shù)的范圍都有所限制。所以在不同材料,不同頻率的情況下,國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)也給出了相應(yīng)的具體測(cè)量方法??梢?jiàn),上面所分析的方法并不是可以隨便套用的。在不同的系統(tǒng)、測(cè)量不同的材料、所要求的頻率不同的情況下,需要對(duì)其具體問(wèn)題具體分析,這樣才能得出準(zhǔn)確的方法。國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量方法覆蓋的頻率為50 MHz 以下和100 MHz 到30 GHz,可以說(shuō)是一個(gè)較廣的頻率覆蓋范圍,但是不同范圍適用的材料和環(huán)境等都有所不同。介電常數(shù)的覆蓋范圍是2 到100,接近1 的介電常數(shù)和較高介電常數(shù)的測(cè)量方法比較稀缺,損耗普遍在10−3 到10−4 的數(shù)量級(jí)上。3. 測(cè)量介電常數(shù)的幾種主要方法從總體來(lái)說(shuō),目前測(cè)量介電常數(shù)的方法主要有集中電路法、傳輸線法、諧振法、自由空間波法等等。其中,傳輸線法、集中電路法、諧振法等屬于實(shí)驗(yàn)室測(cè)量方法,測(cè)量通常是在實(shí)驗(yàn)室中進(jìn)行,要求具有相應(yīng)的樣品采集技術(shù)。另外對(duì)于已知介電常數(shù)材料發(fā)泡后的介電常數(shù)通常用經(jīng)驗(yàn)公式得到[26]。下面,分別對(duì)這幾種方法的原理、特點(diǎn)和發(fā)展現(xiàn)狀等做分別闡述。3.1. 集中電路法集中電路法是一種在低頻段將有耗材料填充電容,利用電容各參數(shù)以及測(cè)量得到的導(dǎo)納推出介電常數(shù)的一種方法。其原理公式為:


其中, Y 為導(dǎo)納, A 為電容面積, d 為極板間距離,?0 為空氣介電常數(shù),ω 為角頻率。為了測(cè)量導(dǎo)納,通常用并聯(lián)諧振回路測(cè)出Q 值(品質(zhì)因數(shù))和頻率,進(jìn)而推出介電常數(shù)。由于其高頻率會(huì)受到小電感的限制,這種方法的高頻率一般是100 MHz。小電感一般為10 nHz 左右。如果電感過(guò),高頻段雜散電容影響太大。如果頻率過(guò)高,則會(huì)形成駐波,改變諧振頻率同時(shí)輻射損耗驟然增加。但這種方法并不適用于低損材料。因?yàn)檫@種方法能測(cè)得的Q 值只有200 左右,使用網(wǎng)絡(luò)分析儀測(cè)得tan? 也只在10−4 左右。這種方法不但準(zhǔn)確度不高,而且只能測(cè)量較低頻率,在現(xiàn)有通信應(yīng)用要求下已不應(yīng)用。

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[QJ 1990.3-90]電絕緣粘合劑電性能測(cè)試方法工頻、工頻、高頻適用于電絕緣粘合劑
高頻下介質(zhì)損耗角正切及相對(duì)介電常數(shù)的測(cè)量(1 MHz 以下)
[SJ 20512-1995]微波大損耗固體材料復(fù)介電常數(shù)和
2~40 GHz 2~100 <1.2 適用于微波大損耗固體材料
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[SJ/T 1147-93]電容器用有機(jī)薄膜介質(zhì)損耗角正切值工頻、1 kHz、1 適用于電容器用有機(jī)薄膜
和介電常數(shù)試驗(yàn)方法MHz
[SJ/T 10142-91]電介質(zhì)材料微波復(fù)介電常數(shù)測(cè)試方4~12 GHz 4~80 0.1~1 適用于電介質(zhì)材料、同軸線終端開(kāi)路
法同軸線終端開(kāi)路法法
[SJ/T 10143-91]固體電介質(zhì)微波復(fù)介電常數(shù)測(cè)試方
法——重入腔法 100~1000 MHz <20 0.0002~0.02 適用于電介質(zhì)材料、重入腔法
[SJ/T 11043-96]電子玻璃高頻介質(zhì)損耗和介電常數(shù)
50~50 MHz 適用于電子玻璃
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低頻、射頻、適用于巖樣、本方法所指低頻為1
[SY/T 6528-2002]巖樣介電常數(shù)測(cè)量方法KHz~15 MHz、射頻為20 MHz~0.27 超高頻
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3.2. 傳輸線法
傳輸線法是網(wǎng)絡(luò)法的一種,是將介質(zhì)置入測(cè)試系統(tǒng)適當(dāng)位置作為單端口或雙端口網(wǎng)絡(luò)。雙端口情況下,通過(guò)測(cè)量網(wǎng)絡(luò)的s 參數(shù)來(lái)得到微波的電磁參數(shù)。圖1 為雙端口傳輸線法的原理示意圖。


其中,Γ 表示空氣樣品的反射系數(shù),? 為傳播系數(shù),l

同時(shí)測(cè)量傳輸系數(shù)或者反射系數(shù)的相位和幅度,改變樣品長(zhǎng)度或者測(cè)量頻率,測(cè)出這時(shí)的幅度響應(yīng),聯(lián)立方程組就能夠求出相對(duì)介電常數(shù)。單端口情況下,通過(guò)測(cè)量復(fù)反射系數(shù)Γ 來(lái)得到、料的復(fù)介電常數(shù)。因此常見(jiàn)的方法有填充樣品傳輸線段法、樣品填充同軸線終端法和將樣品置于開(kāi)口傳輸線終端測(cè)量的方法[27]。*種方法通過(guò)改變樣品長(zhǎng)度及測(cè)量頻率來(lái)測(cè)量幅度響應(yīng),求出εr。這種方法可以測(cè)得傳輸波和反射波極小點(diǎn)隨樣品長(zhǎng)度及頻率的變換,同時(shí)能夠避免復(fù)超越方程和的迭代求解。但這一種方法僅限于低、中損耗介質(zhì),對(duì)于高損耗介質(zhì),樣品中沒(méi)有多次反射。傳輸線法適用于εr 較大的固體及液體,而對(duì)于εr 比較小的氣體不太適用。早在 2002年用傳輸反射法就能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)任意厚度的樣品在任意頻率上進(jìn)行復(fù)介電常數(shù)的穩(wěn)定測(cè)量NRW T/R 法(即基于傳輸/反射參數(shù)的傳輸線法)的優(yōu)勢(shì)是簡(jiǎn)單、精度高并且適用于波導(dǎo)和同軸系統(tǒng)。但該方法在樣品厚度是測(cè)量頻率對(duì)應(yīng)的半個(gè)波導(dǎo)波長(zhǎng)的整數(shù)倍時(shí)并不穩(wěn)定。同時(shí)此方法存在著多值問(wèn)題,通常選擇不同頻率或不同厚度的樣品進(jìn)行測(cè)量較浪費(fèi)時(shí)間并且不方便。此外就是對(duì)于極薄的材料不能進(jìn)行高精度測(cè)量[28]。反射法測(cè)量介電常數(shù)的早應(yīng)用是Decreton 和Gardial 在1974 年通過(guò)測(cè)量開(kāi)口波導(dǎo)系統(tǒng)的反射系數(shù)推導(dǎo)出待測(cè)樣品的介電常數(shù)。同軸反射法是反射法的推廣和深化,即把待測(cè)樣品等效為兩端口網(wǎng)絡(luò),通過(guò)網(wǎng)絡(luò)分析儀測(cè)量該網(wǎng)絡(luò)的散射系數(shù),據(jù)此測(cè)試出材料的介電常數(shù)。結(jié)果顯示,同軸反射法在測(cè)量高損耗材料介電常數(shù)上有一定可行性,可以測(cè)量和計(jì)算大多數(shù)高損耗電介質(zhì)的介電常數(shù),對(duì)諧振腔法不能測(cè)量高損耗材料介電常數(shù)的情況有非常大的補(bǔ)充應(yīng)用價(jià)值[29]。2006 年又提出了一種測(cè)量低損耗薄膜材料介電常數(shù)的標(biāo)量法。該方法運(yùn)用了傳輸線法測(cè)量原理,首先測(cè)量待測(cè)介質(zhì)損耗,間接得出反射系數(shù),然后由反射系數(shù)與介電常數(shù)的關(guān)系式推出介質(zhì)的介電常數(shù)。其薄膜可以分為低損耗、高損耗和高反射三類(lèi),通過(guò)實(shí)驗(yàn)證明了三種薄膜的損耗隨頻率改變基本呈相同的變化趨勢(shì),高頻稍有差別,允許誤差范圍內(nèi)可近似。該方法切實(shí)可行,但不適用于測(cè)量表面粗糙的介質(zhì)[30]。近幾年有人提出了新的確定Ka 波段毫米波損耗材料復(fù)介電常數(shù)的磁導(dǎo)率的測(cè)量方法并給出了確定樣品的復(fù)介電常數(shù)及磁導(dǎo)率的散射方程。此方法有下列優(yōu)點(diǎn):1) 計(jì)算復(fù)介電常數(shù)及磁導(dǎo)率方程組是去耦合的,不需要迭代;2) 被測(cè)量的頻率范圍比較寬;3) 與傳統(tǒng)方法相比消除了介電常數(shù)測(cè)量對(duì)樣品長(zhǎng)度和參考面的位置的依賴(lài)性;4) 消除了NRW 方法在某些頻點(diǎn)測(cè)量的不確定性[31]。還有人將橢圓偏振法的電些頻點(diǎn)測(cè)量的不確定性[31]。還有人將橢圓偏振法的電法用測(cè)量樣品反射波或者投射波相對(duì)于入射波偏振狀態(tài)的改變來(lái)計(jì)算光電特性和幾何參數(shù)。毫米波橢圓偏振法得到的復(fù)介電常數(shù)的虛部比實(shí)部低,即計(jì)算得到的虛部有一定誤差,但它對(duì)橢圓偏振法的進(jìn)一步研究提供了重要的參考依據(jù)[32]

諧振法

諧振法是將樣品作為諧振結(jié)構(gòu)的一部分來(lái)測(cè)量介電常數(shù)的方法,分為微擾法、全部填充諧振器空間的方法以及部分填充諧振器空間的方法。全部填充可以用公式(6)來(lái)計(jì)算

部分填充主要是為了減小樣品尺寸以及材料對(duì)于諧振器參數(shù)的影響,難以進(jìn)行精確地計(jì)算,一般用于矯正。微擾法要求相對(duì)較小的尺寸,并且相對(duì)頻偏要小于0.001,這種情況下其具體尺寸形狀可用填充因子s表示:

其中f0 是無(wú)樣品時(shí)的諧振頻率,QL 是品質(zhì)因數(shù), ?
r
是相對(duì)介電常數(shù), A ? ?
r ? 是聯(lián)系相對(duì)介電常數(shù)以及
微擾腔參數(shù)的函數(shù)。

此時(shí)不論形狀尺寸如何,只要得到填充因子s 即可方便求出相對(duì)介電常數(shù)。利用此方法可以測(cè)量幾乎
所有的材料的介電常數(shù),但是在校準(zhǔn)時(shí)要求采用同一形狀。在頻率上區(qū)分,當(dāng)頻率高于1 GHz 時(shí),可以用波導(dǎo)腔測(cè)量介電常數(shù),但是當(dāng)頻率高于10 GHz 時(shí),由于基模腔太小等原因,對(duì)于介電常數(shù)的測(cè)量提出了新的挑戰(zhàn)。諧振法的具體方法有很多,如:矩形腔法、諧振腔微擾法、微帶線諧振器法、帶狀線諧振器法、介質(zhì)諧振器法、高Q 腔法等。近年來(lái)對(duì)于諧振法又有新的方法不斷出現(xiàn)和改善。

 

圓柱腔測(cè)量介電常數(shù)法是我國(guó)在1987 年推出的測(cè)量介電常數(shù)的方法,經(jīng)過(guò)了對(duì)測(cè)試夾具的研究和開(kāi)發(fā)及對(duì)開(kāi)縫腔體的研究,測(cè)試結(jié)果更為準(zhǔn)確。其頻率測(cè)試范圍大約為1~10 GHz[33]。此外,關(guān)于開(kāi)放腔方法的改進(jìn)也非常全面和成熟。開(kāi)放腔方法中廣泛應(yīng)用了兩塊很大平型金屬板中圓柱介質(zhì)構(gòu)成截止開(kāi)腔的方法,其對(duì)于相對(duì)介電常數(shù)εr 的測(cè)量相對(duì)準(zhǔn)確,但對(duì)于損耗角tanβ 測(cè)量誤差比較大。2006 年有人提出截止波導(dǎo)介質(zhì)腔測(cè)量介電常數(shù),可同時(shí)測(cè)量微波損耗和介電常數(shù),但只能夠用來(lái)測(cè)量相對(duì)介電常數(shù)大于10 的樣品[34]。同時(shí),因?yàn)槠叫邪彘_(kāi)式腔法會(huì)有一部分能量順著饋線和上下金屬板之間的結(jié)構(gòu)傳輸形成輻射損耗,有人提出通過(guò)在饋電側(cè)上下金屬板間增加短路板用來(lái)阻止輻射損耗,并且設(shè)計(jì)
制作了相應(yīng)系統(tǒng),可以通過(guò)單端口工作,對(duì)圓柱形介質(zhì)進(jìn)行測(cè)試[35]。近兩年出現(xiàn)了很多對(duì)于開(kāi)式腔的改進(jìn)和發(fā)展。由三十八所和東南大學(xué)合作的開(kāi)式腔法自動(dòng)測(cè)量系統(tǒng),不僅操作簡(jiǎn)便,而且其測(cè)量的相對(duì)介電常數(shù)以及損耗正切的不確定度小于0.17%和20.4%。此外有人提出準(zhǔn)光腔法在毫米波和亞毫米波中的應(yīng)用有高Q 值、使用簡(jiǎn)便、不損傷薄膜、靈敏度高、樣品放置容易、能檢測(cè)大面積介質(zhì)復(fù)介電常數(shù)均勻性等多項(xiàng)優(yōu)點(diǎn),但依然只能在若干分離頻率點(diǎn)上進(jìn)行測(cè)量[36]??偠灾?,諧振法基本可以測(cè)量所有頻率范圍內(nèi)的材料的介電常數(shù),但是現(xiàn)有方法中對(duì)毫米波范圍研究居多;具有單模性能好、Q 值高、腔加工和樣品準(zhǔn)備簡(jiǎn)單、操作方便以及測(cè)量精度高等優(yōu)點(diǎn);但是對(duì)于損耗正切的測(cè)量一直不能十分準(zhǔn)確,同時(shí)一般只能在幾個(gè)分離的頻率點(diǎn)上進(jìn)行測(cè)量;同時(shí)因?yàn)橹C振頻率和固有品質(zhì)可以較準(zhǔn)確測(cè)量,非常適用于對(duì)低損耗介質(zhì)材料的測(cè)量。諧振法的技術(shù)已經(jīng)比較完善,但是依然有不足之處:如何確保單頻點(diǎn)法的腔長(zhǎng)精確性長(zhǎng)期被忽略;提取相對(duì)介電常數(shù)的超越方程存在多值解;依然有較多誤差源等[37]。

自由空間法
自由空間法其實(shí)也可算是傳輸線法。它的原理可參考線路傳輸法,通過(guò)測(cè)得傳輸和反射系數(shù),改變樣
品數(shù)據(jù)和頻率來(lái)得到介電常數(shù)的數(shù)值。圖2 為其示意圖。

自由空間法與傳輸線法有所不同。傳輸線法要求波導(dǎo)壁和被測(cè)材料*接觸,而自由空間法克服了這
個(gè)缺點(diǎn)[38]。自由空間法保存了線路傳輸法可以測(cè)量寬頻帶范圍的優(yōu)點(diǎn)。自由空間法要求材料要有足夠的損耗,否則會(huì)在材料中形成駐波并且引起誤差。因此,這種方法只適用于高于3 GHz 的高頻情況。其高頻率可以達(dá)到100 GHz。

 

六端口測(cè)量技術(shù)
另外,還有一種方法為六端口測(cè)量技術(shù)。其測(cè)量系統(tǒng)如圖3。在未填充介質(zhì)樣品時(shí),忽略波導(dǎo)損耗,短路段反

六端口技術(shù)是20 世紀(jì)70 年代發(fā)展起來(lái)的一項(xiàng)微波自動(dòng)測(cè)量技術(shù),具有造價(jià)低廉和結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單等優(yōu)點(diǎn)目前六端口技術(shù)廣泛應(yīng)用于安全防護(hù)、微波計(jì)量和工業(yè)在線測(cè)量中。六端口技術(shù)是一種通過(guò)測(cè)量標(biāo)量來(lái)替業(yè)在線測(cè)量中。六端口技術(shù)是一種通過(guò)測(cè)量標(biāo)量來(lái)替測(cè)量[40]。因此其對(duì)設(shè)備精度和復(fù)雜度的要求都有所下降。同時(shí)六端口技術(shù)在與計(jì)算機(jī)控制接口連接的實(shí)現(xiàn)上顯現(xiàn)出了很大的優(yōu)勢(shì),有利于微波阻抗和網(wǎng)絡(luò)參數(shù)的自動(dòng)測(cè)量。

早在20 世紀(jì)90 年代,我國(guó)的學(xué)術(shù)界就提出了許多校驗(yàn)方法,并設(shè)計(jì)出了精度較高的自動(dòng)測(cè)量系統(tǒng),提出了選用測(cè)量低損耗介質(zhì)的微波探頭的建議[41,42]。近幾年六端口技術(shù)仍在不斷地發(fā)展和完善。學(xué)術(shù)界提出了許多新的解超越方程的方法。同時(shí)開(kāi)始采用Matlab 解超越方程,采用Labview 做人機(jī)界面,將Matlab 嵌入其中[43]??偠灾?,六端口網(wǎng)絡(luò)可以在寬頻率范圍內(nèi)進(jìn)行測(cè)量,目前NIsT 實(shí)驗(yàn)室的六端口系統(tǒng)可以測(cè)量10 MHz 到100 GHz 的頻率范圍;六端口網(wǎng)絡(luò)有較高的精度,對(duì) s 參數(shù)的測(cè)量可以達(dá)到點(diǎn)頻手動(dòng)測(cè)量的水準(zhǔn);與自動(dòng)網(wǎng)絡(luò)分析儀比較,結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,成本低,體積??;可以通過(guò)計(jì)算機(jī)及其軟件對(duì)測(cè)量進(jìn)行優(yōu)化和計(jì)算,更利于實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化。

 

3.6.測(cè)量方法總結(jié)

將上述方法的適用場(chǎng)合、優(yōu)缺點(diǎn)可以簡(jiǎn)單總結(jié)成表2。

4. 結(jié)論介電常數(shù)的測(cè)量技術(shù)已經(jīng)被應(yīng)用于生產(chǎn)生活的各個(gè)方面,其測(cè)量的標(biāo)準(zhǔn)也十分明確。國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)中能夠測(cè)量的頻率范圍已經(jīng)覆蓋50 MHz 以下及100 M 到30 GHz。但是其對(duì)測(cè)試材料種類(lèi)以及介電常數(shù)和損耗角的數(shù)值范圍有明確規(guī)定,使得各種標(biāo)準(zhǔn)能夠應(yīng)用的范圍不是很廣泛。而就測(cè)量方法而言,幾種主要的測(cè)量方法各有利弊。集中電路法適用于低頻情況;傳輸線法頻率覆蓋范圍較廣,適用于介電常數(shù)較大的材料,其多數(shù)方法對(duì)于高損和薄膜等材料不太適用,方法簡(jiǎn)單準(zhǔn)確;諧振法只能在有限頻率點(diǎn)下進(jìn)行測(cè)量,適用于低損材料,方法簡(jiǎn)單準(zhǔn)確、單模性好;自由空間法準(zhǔn)確性相對(duì)較差,但是可以實(shí)現(xiàn)實(shí)地測(cè)量;六端口網(wǎng)絡(luò)法精度高,六端口網(wǎng)絡(luò)造價(jià)低廉,頻率覆蓋范圍廣,更適用于以后多種多樣的測(cè)量情況的需要,但是沒(méi)有具體的標(biāo)準(zhǔn)可以參考??梢?jiàn),并不存在一種方法可以*代替其他方法,不同的方法都有自己的優(yōu)點(diǎn)和缺點(diǎn),在不同的情況下選擇具體的方法是十分有必要的。

 

結(jié)束語(yǔ)
現(xiàn)今介電常數(shù)的測(cè)量技術(shù)現(xiàn)在正在不斷進(jìn)步和日益完善,對(duì)于其測(cè)量方法的總結(jié)是希望讀者對(duì)其有更加清晰系統(tǒng)的認(rèn)識(shí)并且能遇見(jiàn)未來(lái)可能的發(fā)展趨勢(shì)。當(dāng)然,不同的工程要求和實(shí)驗(yàn)環(huán)境要有具體的測(cè)量方法,不可以照葫蘆畫(huà)瓢,生搬硬套。相信隨著電子科技和通信行業(yè)的發(fā)展,會(huì)有更多更好的測(cè)量介電常數(shù)的方法出現(xiàn),為我們的日常生活、工業(yè)發(fā)展和軍事進(jìn)步做出更重大的貢獻(xiàn)。

 

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